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老陈则盯上了显影液的温度控制。他发现当液温从 25℃升至 28℃,显影后的线条宽度会增加 1 微米,立即带领工人改造冷却系统,用自行车内胎制作循环水袋,将液温波动控制在 ±0.3℃,而他的工作服上,永远留着水袋渗漏的淡蓝色显影液痕迹。
三、扩散炉的温度迷宫
12 月 15 日,扩散工艺的杂质浓度不均问题导致晶体管阈值电压偏差超过 20%。老陈爬进刚降温的扩散炉,用粉笔标记炉管内壁的温度分布,发现加热丝的排列导致轴向温差达 5℃。“就像冬天烤火,离炉口近的地方烫手,远的地方冰凉,” 他带领钳工重新排布加热丝,将炉管分为 5 个温控区,每个区用热电偶独立测温,这个创新让轴向温差降至 1℃。
在调试磷扩散工艺时,小李发现杂质源的舟皿摆放角度影响扩散均匀性。他借鉴农村灶台的通风原理,将舟皿倾角从水平改为 15 度,使气体流速均匀性提升 40%,而他的记录本上,画满了不同角度的气流模拟图,页脚写着:“连灶台都讲究风路,扩散炉更得让杂质‘走正道’。”
四、封装间的引线暗战
12 月 20 日,封装工序的引线键合成功率不足 40%,显微镜下可见金丝与焊盘的结合处存在微小气泡。老陈从上海手表厂请来技工老张,发现是键合机的超声功率不稳定所致。“就像钟表匠焊接游丝,” 老张调整超声换能器的振幅,“功率太大震裂焊盘,太小粘不牢。” 他们用香烟灰检测超声振动,当烟灰呈现均匀跳动时,键合成功率提升至 70%。
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